洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维,以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能,并且例如可能导致医务人员和保健行业的患者之间的。
洁净室服装包括靴子,鞋子,围裙,胡须套,蓬松帽,工作服,面罩,连衣裙/实验室外套,礼服,手套和手指套,发网,头套,袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子,鞋底完全光滑,不会跟踪灰尘或污垢。但是,鞋底不得产生滑倒危险,因为安全总是优先考虑。进入洁净室通常需要洁净室服。10,000级洁净室可以使用简单的罩衫,头套和短靴。对于10级洁净室,需要小心的长袍穿着程序,并配有拉链盖,靴子,手套和完整的呼吸器外壳。
洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站(LF罩)中说明,并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。
适当的洁净室设计包括整个空气分配系统,包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中,这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中,它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。